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MEMS微振镜

阅读次数:20225     发布时间:2024-10-16

一种用于双轴光学扫描的高性能振镜。采用MEMS技术在硅衬底上形成镜面,通过电磁驱动实现水平扫描和垂直扫描。


应用场景

一种用于双轴光学扫描的高性能振镜。采用MEMS技术在硅衬底上形成镜面,通过电磁驱动实现水平扫描和垂直扫描。


产品技术特点

一种用于双轴光学扫描的高性能振镜。采用MEMS技术在硅衬底上形成镜面,通过电磁驱动实现水平扫描和垂直扫描。


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